公开/公告号JPS5430827A
专利类型
公开/公告日1979-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人 IBM;
申请/专利号JP19780065003
申请日1978-06-01
分类号G03F7/26;G03C5/00;G03F1/68;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H05K3/06;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 20:57:56