半球的装卸装置。 & / p> & &它包括一个基座,在其上放置有一块板12,用于将插件14保持在真空状态。由隔板20之间的管道18提供的纯净空气流对工作平面13进行扫描,使药丸保持不受周围空气污染的情况,而纯净度较低的纯净空气则由管子进行在图21中通过扩散器22完成。设置有凸缘16a的盖15连接到基座。 p> & &使得在所有操作中都可以保持颗粒不受周围空气的污染,因此可用于半颗粒处理。 & / p>
公开/公告号FR2363414B1
专利类型
公开/公告日1979-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 IBM;
申请/专利号FR19770023828
发明设计人
申请日1977-07-26
分类号B28D5/00;H01L21/68;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 19:36:15