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FOERFARANDE FOER AVLAEGSNANDET AV ETT SKIKT FRAON EN YTA VILKET SKIKT AER ETT MATERIAL INNEHAOLLANDE POLYVINYLALKOHOL OCH EN I FOERFARANDET ANVAENDBAR KOMPOSITION

机译:从表面去除层的方法,该层是一种包含聚乙烯醇的物质,并且该组合物适用于该过程

摘要

1375402 Aqueous solutions for removing a hardened photoresist HOWSON-ALGRAPHY Ltd 19 Jan 1972 [25 Jan 1971]. 3122/71 Heading C5D [Also in Divisions G2 and B6] A layer of light-sensitized (polyvinyl alcohol) - containing material which has become insolubilized is removed by treating with an aqueous solution containing periodate ions and optionally a bleaching agent and then rubbing the layer. Exemplified aqueous solutions contain potassiummetaperiodate and either (a) sodium tripoly-phosphate and sodium hypochlorite or (b) sodium dichloroisocyanurate.
机译:1375402去除硬化光刻胶的水溶液HOWSON-ALGRAPHY Ltd 1972年1月19日[1971年1月25日]。 3122/71税号C5D [也在G2和B6分部中]通过用含有高碘酸根离子和任选的漂白剂的水溶液处理,然后除去已变得不溶的一层光敏性(聚乙烯醇)材料,然后用层。示例性的水溶液包含偏高碘酸钾和(a)三聚磷酸钠和次氯酸钠或(b)二氯异氰尿酸钠。

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