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机译:带有可调节腔室的扫描电子显微镜,特别用于大尺寸零件的研究
公开/公告号DE3022094A1
专利类型
公开/公告日1980-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 AGUSTA AERONAUT COSTR;
申请/专利号DE19803022094
发明设计人 HOTZ WALTER IT;PORRO FRANCESCO IT;GABRIELE COSIMO IT;
申请日1980-06-12
分类号H01J37/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 15:11:07
机译: 用于产生三维结构的三维电子束气体离子光刻机,将给定图像沉积在真空室中,并在扫描仪电子显微镜上增加了微型气压室
机译: 通过大气压或可变压力扫描电子束显微镜研究生物标本的器具将标本容纳在与主室分开的内室中