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A process for the image pattern generation by electron beam scanning and electron beam exposure device -

机译：通过电子束扫描和电子束曝光装置生成图像图案的方法-

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the invention concerns a method for bildmustererzeugung by elektronenstrahlabtastung and an electron beam belichtungsvorrichtung. erfindungsgemäß, the sample (6), the benchmark figures (10) is to dete

机译：本发明涉及一种通过电子和电子束的方法来制备胆管肿瘤的方法。 erfindungsgemäß，样本（6个），基准数字（10个）用于确定

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公开/公告号DE3130422A1

专利类型
公开/公告日1982-05-06

原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD. TOKYO JP;
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申请/专利号DE19813130422
发明设计人 MIYAZAKI MASARU OME JP;NAKAMURA KAZUMITSU KATSUTA JP;
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申请日1981-07-31
分类号G03F7/26;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 12:37:27

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