公开/公告号SU1000946A1
专利类型
公开/公告日1983-02-28
原文格式PDF
申请/专利权人 PENZENSKIJ POLT INSTITUT;
申请/专利号SU19813345080
发明设计人 SVETLOV ANATOLIJ VSU;GAEVSKIJ YURIJ SSU;MARTYASHIN ALEKSANDR ISU;TSYPIN BORIS VSU;CHAJKOVSKIJ VIKTOR MSU;
申请日1981-10-08
分类号H01L21/66;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 10:25:56