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机译:反应溅射铬氮化硅电阻
公开/公告号US4681812A
专利类型
公开/公告日1987-07-21
原文格式PDF
申请/专利权人 HONEYWELL INC.;
申请/专利号US19850784987
发明设计人 JAMES A. SCHUETZ;
申请日1985-10-07
分类号B32B15/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 07:08:59
机译: 反应溅射铬氮化硅电阻
机译: 射频支撑的磁控管对氮化硅膜的反应溅射