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机译:用于高度集成电路的多层莱特巴恩和kontaktsystemen生产工艺
公开/公告号DD272169A1
专利类型
公开/公告日1989-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 AKAD WISSENSCHAFTEN DDR DD;
申请/专利号DD19880315599
发明设计人 RICHTER FRANK DD;WINTER ULRICH DD;BUGIEL EBERHARD DD;KLATT JOERG DD;FLOHR INGRID DD;
申请日1988-05-09
分类号H01L21/90;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 06:39:54
机译: Leitbahn和kontaktsystemen的生产方法
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