公开/公告号DE3813836A1
专利类型
公开/公告日1989-11-02
原文格式PDF
申请/专利号DE19883813836
发明设计人 KASPER ERICH DR. 7914 PFAFFENHOFEN DE;LUY JOHANN-FRIEDRICH 7900 ULM DE;KÖNIG ULF DR.;KUISL MAX DR.;
申请日1988-04-23
分类号H01L21/72;H01L21/88;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:30:54