首页> 外国专利> METHOD OF ROENTGENOSTRUCTURAL ANALYSIS OF THIN FILMS

METHOD OF ROENTGENOSTRUCTURAL ANALYSIS OF THIN FILMS

机译:薄膜的薄膜相变分析方法

摘要

the invention u043eu0442u043du043eu0441u0438u0442u0441u00a0 means u0440u0435u043du0442u0433u0435u043du043eu0433u0440u0430u0444u0438u0447u0435u0441u043au043eu0433u043e u043au043eu043du0442u0440u043eu043bu00a0 materials can, in particular, in the study u0438u0441u043fu043eu043bu044cu0437u043eu0432u0430u0442u044cu0441u00a0 thin-film materials. the purpose is to improve the u0438u0437u043eu0431u0440u0435u0442u0435u043du0438u00a0 u0440u0430u0437u0440u0435u0448u0435u043du0438u00a0 and contrast u0434u0438u0444u0440u0430u043au0446u0438u043eu043du043du043eu0439 paintings.u0434u043bu00a0 u043eu0441u0443u0449u0435u0441u0442u0432u043bu0435u043du0438u00a0 mode beam of x-rays coming from the source 3 through the slit 4, and is u043cu043eu043du043eu0445u0440u043eu043cu0430u0442u043eu0440u0430 system 5 so as to obtain the u043fu0440u00a0u043cu043eu0443u0433u043eu043bu044cu043du0443u044e form his u0441u0435u0447u0435u043du0438u00a0 on the surface of the object 2, the angle to the equatorial plane. the beam forms with the surface angle, determined depending on the thickness of the controlled u0441u043bu043eu00a0.the rotation of the sample around the axis of the goniometer 6 u043eu0441u0443u0449u0435u0441u0442u0432u043bu00a0u044eu0442 registration u0434u0438u0444u0440u0430u043au0446u0438u043eu043du043du043eu0439 paintings from u043au0440u0438u0441u0442u0430u043bu043bu043eu0433u0440u0430u0444u0438u0447u0435u0441u043au0438u0445 planes with an angle of 90 u0441u043eu0441u0442u0430u0432u043bu00a0u044eu0449u0438u0445 -. 1 il.
机译:本发明 u043e u0442 u043d u043e u0441 u0438 u0442 u0441 u00a0表示 u0440 u0435 u043d u0442 u0433 u0435 u043d u043e u043e u0433 u0440 u0430 u0444 u0438 u0447 u0435 u0441 u043a u043e u0433 u043e u043a u043e u043d u0442 u0440 u043e u043b u00a0材料特别是在研究中 u0438 u0441 u0431 u043f u043e u043b u044c u0437 u043e u0432 u0430 u0442 u044c u0441 u00a0薄膜材料。目的是改善 u0438 u0437 u043e u0431 u0440 u0435 u0442 u0435 u043d u043d u0438 u00a0 u0440 u0430 u0437 u0440 u0435 u0448 u0435 u043d u043d u0438 u00a0 u0434 u0438 u0444 u0440 u0430 u043a u0446 u0438 u043e u043d u043d u043d u043e u0439绘画。 u0434 u043b u00a0 u043e u0441 u0443 u0449 u0435 u0441 u0442 u043b u0435 u043d u0438 u00a0从光源3通过缝隙4发出的x射线模式光束是 u043c u043e u043d u043e u0445 u0440 u043e u043c u0430 u0442 u043e u0440 u0430系统5以获得 u043f u0440 u00a0 u043c u043e u043e u0443 u0433 u043e u043b u044c u043c u043d u0443 u044e从他的 u0441 u0435 u0447 u0435 u043d在对象2的表面上的u0438 u00a0,与赤道平面的角度。光束随表面角度而形成,取决于受控 u0441 u043b u043e u00a0的厚度。样品围绕测角计轴6的旋转 u043e u0441 u0443 u0449 u0435 u0441 u0442 u0432 u043b u00a0 u044e u0442注册 u0434 u0438 u0444 u0440 u0430 u043a u0446 u0438 u043e u043d u043d u043e u0439来自 u043a u0440 u0438 u0441的绘画 u0430 u043b u043b u043e u0433 u0440 u0430 u0444 u0438 u0447 u0435 u0441 u043a u0438 u0445平面成90度角 u0441 u043e u0431 u0441 u0442 u0430 u0432 u043b u00a0 u044e u0449 u0438 u0445-。 1升

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号