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Sb2Te3,Sb2Te和N掺杂GST薄膜相变存储薄膜热传导机理研究

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本试验光刻装置采用成都晶普科技有限公司生产的URE-2000/35型紫外光刻机。由紫外线光源,对准显

2.2.3 3?装置

4.3 Sb2Te3和Sb2Te试样性质的检测

4.4.1热传导测量

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