公开/公告号DE3912056A1
专利类型
公开/公告日1990-10-18
原文格式PDF
申请/专利号DE19893912056
发明设计人 BEELER FRANZ DR. BADEN CH;HUEPPI MARCEL DIPL.-PHYS. ZUERICH CH;HALDER ERICH DR. OBERROHRDORF CH;
申请日1989-04-13
分类号H01L29/32;H01L21/324;H01L21/263;H01L21/24;H01L21/28;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:10:10