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Manufacturing method of LiNbO3 single crystal wafer

机译：LiNbO3单晶晶片的制造方法

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公开/公告号KR910015004A

专利类型
公开/公告日1991-08-31

原文格式PDF
申请/专利权人 한형수;
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申请/专利号KR19900000972
发明设计人 마동준;한재용;이성국;
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申请日1990-01-30
分类号H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:51:33

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