首页> 外国专利> ETCHING SOLUTION FOR IRON-YTTRIUM GARNET EPITAXIAL FILMS

ETCHING SOLUTION FOR IRON-YTTRIUM GARNET EPITAXIAL FILMS

机译:铁钇石榴石外延膜的蚀刻解决方案

摘要

the invention u043eu0442u043du043eu0441u0438u0442u0441u00a0 chemical u0441u043eu0435u0434u0438u043du0435u043du0438u00a0u043c and is u0434u043bu00a0 precision u0442u0440u0430u0432u043bu0435u043du0438u00a0 u044du043fu0438u0442u0430u043au0441u0438u0430u043bu044cu043du044bu0445 films based on u0436u0435u043bu0435u0437u043eu0438u0442u0442u0440u0438u0435u0432u043eu0433u043e grenade. produced by u0442u0440u0430u0432u043bu0435u043du0438u00a0 of data of elements necessary configuration u0438u0441u043fu043eu043bu044cu0437u0443u044eu0442u0441u00a0 devices of radio engineering, such as u0433u0438u0440u043eu043cu0430u0433u043du0438u0442u043du044bu0435 u0444u0438u043fu044cu0442u0440u044b, l u0438u043du0438u0438 delay and so on.to increase the speed u0438u0437u043eu0431u0440u0435u0442u0435u043du0438u00a0 u00a0u0432u043bu00a0u0435u0442u0441u00a0 u0442u0440u0430u0432u043bu0435u043du0438u00a0 while ensuring a high quality of u0432u044bu0442u0440u0430u0432u043bu0438u0432u0430u0435u043cu044bu0445 elements selectively. u0434u043bu00a0 u0434u043eu0441u0442u0438u0436u0435u043du0438u00a0 goal u0438u0441u043fu043eu043bu044cu0437u0443u0435u0442u0441u00a0 tra - representative, containing the concentrated nitric acid and u043eu0440u0442u043eu0444u043eu0441u0444u043eu0440u043du0443u044e acid in the ratio of 5 and 95 mas.%, respectively. pickling u043fu0440u043eu0432u043eu0434u0438u0442u0441u00a0 at a temperature of about 175 & deg;.at this temperature u0430u0437u043eu0442u043du0430u00a0 acid u0440u0430u0437u043bu0430u0433u0430u0435u0442u0441u00a0 into nitrogen dioxide, thus increasing the speed of u0442u0440u0430u0432u043bu0435u043du0438u00a0 u044du043fu0438u0442u0430u043au0441u0438u0430u043bu044cu043du044bu0445 film thickness of 20 m km to 3 to 4 microns / min). when the concentration of nitric acid u0442u0440u0430u0432u043bu0435u043du0438u00a0 speed increases even more, but the quality is u0443u0445u0443u0434u0448u0430u0442u044cu0441u00a0 borders u0432u044bu0442u0440u0430u0432u043bu0438u0432u0430u0435u043cu044bu0445 ale u0435u043du0442u043eu0432.
机译:发明 u043e u0442 u043d u043e u0441 u0438 u0442 u0441 u00a0化学品 u0441 u043e u0435 u0434 u0438 u043d u0435 u043d u0438 u00a0 u043c是 u0434 u043b u00a0精度 u0442 u0440 u0430 u0432 u043b u0435 u043d u0438 u0442 u0430 u043a u0441 u0438 u0430 u0430 u043b u044c u043d u043d u044d u044b在 u0436 u0435 u043b u0435 u0437 u043e u0438 u0442 u0442 u0440 u0438 u0435 u0432 u043e u0433 u043e手榴弹上。由 u0442 u0440 u0430 u0432 u043b u0435 u043d u0438 u00a0生成的元素数据必需配置 u0438 u0441 u043f u043e u043b u044c u0437 u0443 u0443 u044e u0442 u0441 u00a0无线电工程设备,例如 u0433 u0438 u0440 u043e u043c u0430 u0433 u043d u043d u0438 u0442 u043d u044b u0435 u0444 u0438 u043f u044c u044c u0442 u0440 u044b,l u0438 u043d u0438 u0438延迟等,以提高速度 u0438 u0437 u043e u0431 u0440 u0435 u0442 u0435 u043d u043d u0438 u00a0 u00a0 u0432 u043b u00a0 u0435 u0442 u0441 u00a0 u0442 u0440 u0430 u0432 u043b u0435 u043d u0438 u00a0,同时确保高质量 u0432 u044b u0442 u0440 u0430 u0432 u0432 u043b u0438 u0432 u0430 u0435 u043c u044b u0445元素。 u0434 u043b u00a0 u0434 u043e u0441 u0442 u0438 u0436 u0435 u043d u0438 u00a0目标 u0438 u0441 u043f u043e u043b u044c u044c u0437 u0443 u0435 u0442 u00a0 tra-代表,分别包含浓度为5和95 mas。%的浓硝酸和 u043e u0440 u0442 u043e u0444 u043e u0441 u0444 u043e u0440 u043d u0443 u044e酸。在大约175°C的温度下在此温度下酸洗 u043f u0440 u043e u0432 u043e u0434 u0438 u0442 u0441 u00a0 u0430 u0437 u043e u0442 u043d u04d u0430 u00a0酸u0440 u0430 u0437 u043b u0430 u0433 u0430 u0435 u0442 u0441 u00a0转化为二氧化氮,从而提高了 u0442 u0440 u0430 u0432 u043b u0435 u043d u043d u0438 u00a0 u044d的速度 u043f u0438 u0442 u0430 u043a u0441 u0438 u0430 u043b u044c u043d u044b u0445膜厚为20 m km至3到4微米/分钟。当硝酸 u0442 u0440 u0430 u0432 u043b u0435 u043d u0438 u00a0的浓度进一步提高时,其质量为 u0443 u0445 u0443 u0434 u0448 u0430 u0430 u0442 u044c u0441 u00a0边框 u0432 u044b u0442 u0440 u0430 u0432 u043b u0438 u0432 u0430 u0435 u043c u044b u0445 ale u0435 u043d u043d u0442 u043e u0432。

著录项

  • 公开/公告号SU1682417A1

    专利类型

  • 公开/公告日1991-10-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MALTSEVA RAISA PSU;

    申请/专利号SU19894766331

  • 发明设计人 MALTSEVA RAISA PSU;

    申请日1989-10-19

  • 分类号C30B33/08;C30B29/28;

  • 国家 SU

  • 入库时间 2022-08-22 05:50:27

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号