公开/公告号DE3772111D1
专利类型
公开/公告日1991-09-19
原文格式PDF
申请/专利号DE19873772111T
发明设计人 KAWANO MICHIARI KAWASAKI-SHI KANAGAWA 214 JP;HIGASHIMOTO MASAYUKI KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211 JP;KASHIWAGI SHIGEO;NAKANO JUN;SHIMIZU OSAMU YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 227 JP;
申请日1987-05-27
分类号H01L21/60;H01L21/28;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 05:49:44