公开/公告号CA2048968A1
专利类型
公开/公告日1992-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 CANON KABUSHIKI KAISHA;
申请/专利号CA19912048968
申请日1991-08-12
分类号B81B3/00;G01N27/00;G01Q20/04;G01Q60/16;G01Q70/10;G01Q70/14;G01Q80/00;G11B9/00;G11B11/00;H01L41/09;
国家 CA
入库时间 2022-08-22 05:32:13