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机译:一种形成负性可显影基础显影的光敏抗蚀剂组合物和负光敏抗蚀剂图像的方法。
公开/公告号KR910018850A
专利类型
公开/公告日1991-11-30
原文格式PDF
申请/专利权人 아이리인 티이 브라운;
申请/专利号KR19910005379
发明设计人 다이네쉬 엔 칸나;베르너 하 뮬러;
申请日1991-04-03
分类号G03F7/27;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:28:45
机译: 负式光敏树脂组合物,光敏抗蚀剂膜,图案形成方法,固化膜,固化膜制作方法和轧制体
机译: 缩合产物,光敏组合物,光敏组合物的制造方法以及使用光敏组合物形成负性图案的方法
机译: 负型感光性树脂组合物,感光性抗蚀剂膜,图案形成方法,固化膜,固化膜的制造方法