首页> 外国专利> METHOD OF X-RAY DIFFRACTION SURVEY OF POLYCRYSTAL MATERIALS

METHOD OF X-RAY DIFFRACTION SURVEY OF POLYCRYSTAL MATERIALS

机译:多晶硅材料的X射线衍射测量方法

摘要

the invention u043eu0442u043du043eu0441u0438u0442u0441u00a0 to study physical, chemical properties by means of x-ray diffraction, in particular to u0440u0435u043du0442u0433u0435u043du043eu0430u043du0430u043bu0438u0437u0443 thin u043fu043eu043bu0438u043au0440u0438u0441u0442u0430u043b u043bu0438u0447u0435u0441u043au0438u0445 films and surface layers. the purpose is to improve the effectiveness of u0438u0437u043eu0431u0440u0435u0442u0435u043du0438u00a0 u0440u0435u043du0442u0433u0435u043du043eu0441u044au0435u043cu043au0438 thin surface layers.a method u0434u0438u0444u0440u0430u043au0442u043eu043cu0435u0442u0440u0438u0447u0435u0441u043au043eu0439 surveying u043fu043eu043bu0438u043au0440u0438u0441u0442u0430u043bu043bu043eu0432, which rotate around the axis of a sample, the focusing u043eu043au0440u0443u0436u043du043eu0441u0442 u043fu0435u0440u043fu0435u043du0434u0438u043au0443u043bu00a0u0440u043du043eu0439 plane and, the're injecting him u0440u0430u0441u0445u043eu0434u00a0u0449u0438u043cu0441u00a0 beam of x-ray u0438u0437u043bu0443u0447u0435u043du0438u00a0 and u0434u0438u0444u0440u0430 - 1 u0442u0438u0440u043eu0432u0430u0432u0448u0438u0435 rays are u043fu0435u0440u0435u043cu0435u0449u0430u044eu0449u0438u043cu0441u00a0 detector, to which a priya u043cu043du0430u00a0 slit.in the process of filming in u043fu043eu0441u0442u043eu00a0u043du043du044bu043c corner / between the plane model and collected radiation and reception slit detector together with him moving to p u0440u00a0u043cu043eu0439, u043fu0440u043eu0445u043eu0434u00a0u0449u0435u0439 through a source u0438u0437u043bu0443u0447u0435u043du0438u00a0 and u043eu0442u0441u0442u043eu00a0u0449u0435u0439 from the axis u0432u0440u0430u0449u0435u043du0438u00a0 model for u0440u0430u0441u0441u0442u043eu00a0u043du0438u0438 r, u043eu043fu0440u0435u0434u0435u043bu00a0u0435u043cu043eu043c formula r r sin / 9, where r is u0440u0430u0441u0441u0442u043eu00a0u043du0438u0435 from the axis at u0440u0430u0449u0435u043du0438u00a0 model to focus the source u0438u0437u043bu0443u0447u0435u043du0438u00a0. 1 il. yu
机译:发明 u043e u0442 u043d u043e u0441 u0438 u0442 u0441 u00a0以借助X射线衍射研究物理,化学性质,特别是 u0440 u0435 u043d u0442 u0433 u0435 u043d u043e u0430 u043d u0430 u043b u0438 u0437 u0443薄型 u043f u043e u043b u0438 u043a u0440 u0438 u0441 u0442 u0430 u043b u043b u0438 u0447 u0435 u043a u0438 u0445膜和表面层。目的是提高 u0438 u0437 u043e u0431 u0440 u0435 u0442 u0435 u043d u043d u0438 u00a0 u0440 u0435 u043d u0442 u0433 u0433 u0435 u043d u043d u043e u0441 u0443 u0435 u043c u043a u0438薄层表面。方法 u0434 u0438 u0444 u0440 u0430 u043a u0442 u043e u043c u043c u0435 u0442 u0440 u0438 u0447 u0447 u0435 u0441 u043a u043e u0439测量 u043f u043e u043b u0438 u043a u0440 u0438 u0441 u0442 u0430 u043b u043b u043e u0432 u0432围绕样品的轴旋转,聚焦 u043e u043a u0440 u0443 u0436 u043d u043e u0441 u0442 u043f u0435 u0440 u043f u0435 u043d u0434 u0438 u043a u0443 u043b u00a0 u0440 u043d u043d u043e u0439并注入他 u0440 u0430 u0441 u0445 u043e u0434 u00a0 u0449 u0438 u043c u0441 u00a0 x射线束 u0438 u0437 u043b u0443 u0447 u0435 u043d u0438 u00a0和 u0434 u0438 u0444 u0440 u0430-1 u0442 u0438 u0440 u043e u0432 u0430 u0432 u0448 u0438 u0435光线是 u043f u0435 u0440 u0435 u043c u0435 u0449 u0430 u044e u0449 u0438 u043 c u0441 u00a0检测器,在 u043f u043e u0441 u0442 u0432 u043e u00a0 u043d u043d u043d u044b u043c角的拍摄过程中,已将priya u043c u043d u0430 u00a0狭缝在平面模型和收集的辐射和接收狭缝检测器之间,通过他移动到p u0440 u00a0 u043c u043e u0439, u043f u0440 u043e u0445 u043e u0434 u00a0 u0449 u0435 u0439源 u0438 u0437 u043b u0443 u0447 u0435 u043d u0438 u00a0和 u043e u0442 u0441 u0442 u043e u00a0 u0449 u0435 u0439从轴 u0432 u0440 u0430 u0449 u0440 u0430 u0441 u0441 u0442 u043e u00a0 u043d u043d u0438 u0438 r, u043e u043f u0440 u04340 u0435 u0434 u0435 u043b u00a0 u0435 u043d u0438 u00a0模型u043c u043e u043c公式rr sin / 9,其中r是 u0440 u0430 u0449 u0435 u043d处的轴的 u0440 u0430 u0441 u0441 u0442 u043e u00a0 u043d u0438 u0435 u0438 u00a0模型可以集中源 u0438 u0437 u043b u0443 u0447 u0435 u043d u0438 u00a0。 1升宇

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号