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METHOD FOR METALLIZING A SILICATE, QUARTZ, GLASS OR SAPPHIRE SUBSTRATE AND SUBSTRATE OBTAINED THEREFORE.

机译:金属化硅酸盐,石英,玻璃或蓝宝石基质并从中获得基质的方法。

摘要

The process makes it possible to make metal adhere to a substrate surface made of silica, quartz, glass or sapphire. The surface to be metallised is first of all roughened, in a known manner, by mechanical abrasion to obtain a roughness of between 0.2 mu m and 0.7 mu m, and is then subjected to a chemical pickling treatment by immersion for an effective period in an aqueous HF solution. According to the invention, the process then comprises the following stages: ionic pickling of the surface to a depth of less than 30 nm and then the application to the surface of a first metallic adhesiveness layer by cathodic sputtering. …??Application to the production of thin-layer hybrid circuits. …IMAGE…
机译:该方法可以使金属粘附到由二氧化硅,石英,玻璃或蓝宝石制成的基底表面上。首先,要进行金属化处理的表面首先以已知方式通过机械研磨进行粗糙化处理,以得到0.2微米至0.7微米之间的粗糙度,然后通过将其浸没在金属中进行有效的酸洗处理。 HF水溶液。根据本发明,该方法然后包括以下步骤:将表面进行离子酸洗至小于30nm的深度,然后通过阴极溅射将其施加至第一金属粘合层的表面。 …>应用于薄层混合电路的生产。 …<图像>…

著录项

  • 公开/公告号DE3872859T2

    专利类型

  • 公开/公告日1993-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PHILIPS NV NL;

    申请/专利号DE19883872859T

  • 发明设计人 BOURGEOIS-MOINE JEAN FR;

    申请日1988-12-19

  • 分类号C03C23/00;C03C17/06;H01L25/16;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 05:02:09

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