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Method of metallizing a substrate of silica, quartz, glass or sapphire

机译:二氧化硅,石英,玻璃或蓝宝石衬底金属化的方法

摘要

A method of adhering a metal to a surface of a substrate of silica, quartz, glass or sapphire is set forth. The surface to be metallized is first roughened by mechanical abrasion to obtain a roughness lying between 0.2 m and 0.7 m and is then subjected to a chemical treatment of etching by immersion in an aqueous solution of HF. According to the invention, the method further comprises the following steps of ion etching of the surface down to a depth less than 30 nm and then applying to the surface a first metallic adherence layer by cathode sputtering.
机译:提出了一种将金属粘附到二氧化硅,石英,玻璃或蓝宝石的衬底的表面上的方法。首先通过机械研磨使待金属化的表面粗糙化,以得到介于0.2m和0.7m之间的粗糙度,然后通过浸入HF水溶液中进行化学蚀刻处理。根据本发明,该方法进一步包括以下步骤:将表面离子蚀刻至小于30nm的深度,然后通过阴极溅射将第一金属粘附层施加至该表面。

著录项

  • 公开/公告号US4946546A

    专利类型

  • 公开/公告日1990-08-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 U.S. PHILIPS CORPORATION;

    申请/专利号US19880289282

  • 发明设计人 JEAN-PAUL BOURGEOIS-MOINE;

    申请日1988-12-21

  • 分类号B44C1/22;C03C15/00;C03C25/06;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 06:07:10

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