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机译:同时在两个单独的应用领域中输送流体的设备
公开/公告号ITBO920289A1
专利类型
公开/公告日1994-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 G.D S.P.A.;
申请/专利号IT1992BO00289
发明设计人 DRAGHETTI FIORENZO;
申请日1992-07-28
分类号
国家 IT
入库时间 2022-08-22 04:44:07
机译: 同时在两个单独的应用领域中输送流体的设备
机译: 用于同时将流体输送到两个不同应用区域的设备
机译: 在投影曝光系统中用于分离区域和/或光学元件的装置,具有用于输送流体的进料管线和回流管线,它们布置成在分离区域中的流体上以形成流体帘