公开/公告号EP0272142B1
专利类型
公开/公告日1994-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC;
申请/专利号EP19870311195
发明设计人 ZEITLIN VLADIMIR J.;CHENG DAVID;WANG DAVID NIN-KOU;MAYDAN DAN;CHANG MEI;SOMEKH SASSON;WONG JERRY YUEN KUI;ANDREWS DANA L.;STALDER KENNETH R.;WHITE JOHN M.;
申请日1987-12-18
分类号H01J37/32;H01L21/306;C23C16/50;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 04:40:10