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PROCEDURE AND APPARATUS FOR IMPROVING A PLASMA ACCELERATOR PLATING APPARATUS USED FOR DIAMOND PLATING

机译:用于改进用于金刚石镀覆的等离子体加速器镀覆装置的程序和设备

摘要

A method and apparatus improved electrodeposition used for the deposition of diamond films wherein one causes the formation of a first arc between a first electrode (1 ') and an ignition element (5') connected thereto and a second arc with the first arc between the first electrode (1 ') and a second electrode (3). A plasma jet, whose power source the first electrode (1 ') is then directed towards the material (7) to be coated. The surface (10 ') where the first electrode is released the feed material is abraded continuously during the electrodeposition process, thanks to an assembly wherein the emitting surface and at least one abrasive element ( 11 ', 5') placed in contact therewith are moved relative to each other.
机译:一种用于沉积金刚石膜的改进的电沉积方法和设备,其中,在第一电极(1')和与其连接的点火元件(5')之间形成第一电弧,在第一电极(1')与点火元件(5')之间形成第二电弧。第一电极(1')和第二电极(3)。然后将等离子流的电源将第一电极(1')指向要涂覆的材料(7)。由于组件的作用,其中发射表面和与之接触的至少一个磨料元件(11',5')移动,因此在电沉积过程中,在第一电极释放进料的表面(10')上连续磨削。相对于彼此。

著录项

  • 公开/公告号EP0620867A1

    专利类型

  • 公开/公告日1994-10-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SUOMEN ITSENÄISYYDEN JUHLARAHASTO SITRA;

    申请/专利号EP19930900217

  • 发明设计人 KOSKINEN JARI;ANTTILA ASKO;

    申请日1992-12-30

  • 分类号C23C14/22;C23C14/06;C23C14/32;H01J37/32;H05H1/50;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 04:38:30

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