公开/公告号DE3786851T2
专利类型
公开/公告日1994-03-17
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申请/专利权人 IBM US;
申请/专利号DE19873786851T
发明设计人 BENNETT REID STUART US;SCHWARTZ GERALDINE COGIN US;SELWYN GARY STEWART US;EPHRATH LINDA MERO US;
申请日1987-05-05
分类号H01J37/32;C23F4/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:36:43