公开/公告号DE4324647A1
专利类型
公开/公告日1994-01-27
原文格式PDF
申请/专利号DE19934324647
发明设计人 MATSUNO YOSHINORI ITAMI HYOGO JP;NAOMOTO HIDEO ITAMI HYOGO JP;ARIMOTO SATOSHI ITAMI HYOGO JP;MORIKAWA HIROAKI ITAMI HYOGO JP;SASAKI HAJIME ITAMI HYOGO JP;
申请日1993-07-22
分类号H01L31/0392;C23F1/02;H01L31/0224;H01L31/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:35:42