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机译:同步辐射装置
公开/公告号JPH0744000Y2
专利类型
公开/公告日1995-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 工業技術院長;住友電気工業株式会社;
申请/专利号JP19870127616U
发明设计人 高田 博史;筒井 康充;冨増 多喜夫;
申请日1987-08-21
分类号H05H13/04;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 04:28:42
机译: 同步辐射装置
机译: 同步辐射测量仪及同步辐射测量方法
机译: X射线曝光设备,X射线曝光方法,X射线掩模,X射线镜,同步加速器辐射设备,同步加速器辐射方法和半导体器件