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system for fliessfertigung of micro structure and thin layer semiconductor device on extended substrate

机译:扩展基板上的微结构和薄层半导体器件的飞移系统

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号AT133812T

    专利类型

  • 公开/公告日1996-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SARCOS GROUP;

    申请/专利号AT19930109478T

  • 发明设计人 JACOBSEN STEPHEN C.;

    申请日1993-06-14

  • 分类号H01L21/00;G03F7/00;

  • 国家 AT

  • 入库时间 2022-08-22 03:51:36

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