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机译:扩展基板上的微结构和薄层半导体器件的飞移系统
公开/公告号AT133812T
专利类型
公开/公告日1996-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SARCOS GROUP;
申请/专利号AT19930109478T
发明设计人 JACOBSEN STEPHEN C.;
申请日1993-06-14
分类号H01L21/00;G03F7/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 03:51:36
机译: 扩展基板上的微结构和薄层半导体器件的飞移系统
机译: 用于微结构和薄层流线生产的系统-半导体-延伸基板的装置
机译: 具有图案化的薄层的微结构化基材,包括该薄层的微结构阵列以及生产该微结构化基材和微结构阵列的方法