薄层基板制造方法、薄层基板移载装置以及薄层基板移载用吸附垫

摘要

一种薄层基板移载用吸附垫，是用于吸附玻璃基板的吸附垫(71)，由具有圆环状的侧壁部(711)的有底桶状体构成，在底部(712)的中央形成有吸引孔(713)，侧壁部(711)的前端形成为前方收窄的锥状。侧壁部(711)由吸引孔侧的小直径的基部侧壁(714)、前端侧的大直径的前端侧壁(715)、以及连接基部侧壁和前端侧壁的连结部(716)而构成。前端侧壁(715)的前端端面(715a)的径向尺寸为0.2mm。由此可以抑制托垫的冷热(相对而言温度较低)传递到玻璃基板的热量。