公开/公告号US5572170A
专利类型
公开/公告日1996-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US19950518014
发明设计人 JOHN TROW;JAY D. PINSON II;KENNETH S. COLLINS;ROBERT P. HARTLAGE;CRAIG A. RODERICK;VIKTOR SHEL;DOUGLAS A. BUCHBERGER II;
申请日1995-08-22
分类号H01P5/08;
国家 US
入库时间 2022-08-22 03:37:38