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ALAT DAN METODE UNTUK MELAYANI LAPISAN-LAPISAN BAWAH DALAM KONTENER CAIRAN

机译:液体层服务的工具和方法

摘要

in a device for the treatment of substrates (3) in a fluid container (1) with the fluid container (1) bringbaren device (5) is a particularly simple and safe treatment and handling of the substrates (3) when the device (5), a substra t stands (6) inthe substrates (3) in a first position and a second position holding releasing.
机译:在带有流体容器(1)的用于在流体容器(1)中处理衬底(3)的设备中,带载barbaren设备(5)在设备(5)进行时对衬底(3)的处理和处理特别简单安全),基板在第一位置和第二位置竖立在基板(3)中,第二位置保持释放。

著录项

  • 公开/公告号ID16622A

    专利类型

  • 公开/公告日1997-10-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STEAG MICROTECH GMBH.;

    申请/专利号ID19970001321

  • 申请日1997-04-21

  • 分类号B65G49/04;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673;

  • 国家 ID

  • 入库时间 2022-08-22 03:25:26

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