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PERALATAN DAN METODE UNTUK MENANGANI LAPISAN-LAPISAN BAWAH DALAM TANGKI CAIRAN

机译:处理液体罐中的层的设备和方法

摘要

In a device for treating substrates (3) in a fluid container (1), even large substrates (3) are particularly securely held by means of at least one securing strip (6) which can be laid on the upper edge region of the substrates (3). The invention also relates to a process for treating substrates.
机译:在用于处理流体容器(1)中的基片(3)的装置中,特别大的基片(3)通过至少一个固定条(6)特别牢固地保持,该固定条可以放置在基片的上边缘区域上。 (3)。本发明还涉及一种处理基材的方法。

著录项

  • 公开/公告号ID17727A

    专利类型

  • 公开/公告日1998-01-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STEAG MICRO TECH GMBH;

    申请/专利号ID19970001343

  • 发明设计人 DIETMAR SCHONLEBER;

    申请日1997-04-22

  • 分类号H01L21/00;

  • 国家 ID

  • 入库时间 2022-08-22 02:56:12

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