公开/公告号EP0406690B1
专利类型
公开/公告日1997-03-12
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申请/专利权人 CANON KABUSHIKI KAISHA;
申请/专利号EP19900112247
发明设计人 MATSUYAMA JINSHO;KARIYA TOSHIMITSU;FUJIOKA YASUSHI;TAKEI TETSUYA;NAKAGAWA KATSUMI;KANAI MASAHIRO;ECHIZEN HIROSHI;
申请日1990-06-27
分类号H01L31/20;H01L21/205;C23C16/24;C23C16/54;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 03:20:57