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Probe for atomic force microscope, method of fabricating same, and atomic force microscope

机译:原子力显微镜用探针,其制造方法以及原子力显微镜

摘要

An AFM (atomic force microscope) probe having a sharpened probe tip is fabricated by a simple fabrication method.;A probe whose tip is formed by crystal planes of a piezoelectric crystal substrate is offered. Also, a probe whose tip is formed by an isotropic method is proposed. Furthermore, methods of fabricating these probes are offered. Moreover, scanning atomic force microscopes are constructed, using these probes.
机译:通过简单的制造方法来制造具有尖锐的探针头的AFM(原子力显微镜)探针。提供一种由压电晶体基板的晶面形成的探针头。另外,提出了通过各向同性方法形成尖端的探针。此外,提供了制造这些探针的方法。此外,使用这些探针构造了扫描原子力显微镜。

著录项

  • 公开/公告号EP0794406A1

    专利类型

  • 公开/公告日1997-09-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SEIKO INSTRUMENTS INC.;

    申请/专利号EP19970103780

  • 发明设计人 MURAMATSU HIROSHI;SHIMIZU NOBUHIRO;

    申请日1997-03-06

  • 分类号G01B7/34;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 03:19:23

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