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机译:硅氮烷热分解法用化学硅酸钡,陶瓷材料衬里化学反应器的方法
公开/公告号DK0654544T3
专利类型
公开/公告日1998-09-23
原文格式PDF
申请/专利权人 ENICHEM S.P.A.;ENICHEM S.P.A.;
申请/专利号DK19940203285T
发明设计人 CRUSE RICHARD;ROHMAN STEPHEN;SZALAI VERONIKA;MININNI ROBERT;CLARK TERENCE;
申请日1994-11-10
分类号C23C16/32;B01J19/02;C07F7/10;C23C16/34;C23C16/36;
国家 DK
入库时间 2022-08-22 02:58:13
机译: 通过前体硅氮烷的热分解,用硅基陶瓷材料衬里化学反应器的步骤。
机译: 通过硅氮烷前体的热分解为化学反应器加衬硅基陶瓷材料的方法
机译: 通过硅氮烷的热分解制备化学反应器的含硅陶瓷涂层的方法