公开/公告号EP0823451A1
专利类型
公开/公告日1998-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号EP19970306020
发明设计人 TAKAHASHI TAKAYUKIC/O SHIN-ETSU CHEM. CO. LTD.;MINEMURA MASAHIKOC/O SHIN-ETSU CHEM. CO. LTD.;OHKAWARA TAKASHIC/O SHIN-ETSU CHEM. CO. LTD.;
申请日1997-08-07
分类号C08K3/22;C08K3/28;C08L83/04;C08K5/00;H01L23/373;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 02:49:44