公开/公告号US5753128A
专利类型
公开/公告日1998-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 INSTITUT NATIONAL DE LENVIRONNEMENT INDUSTRIEL ET DES RISQUE;COMMISSARIAT ALENERGIE ATOMIQUE;
申请/专利号US19960631308
申请日1996-04-10
分类号H01L21/00;B44C1/22;C23F1/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 02:39:37