公开/公告号US5801073A
专利类型
公开/公告日1998-09-01
原文格式PDF
申请/专利号US19950450692
发明设计人 WILLIAM D. GOODHUE;GEORGE B. KENNEY;JOHN S. HAGGERTY;WILLIAM L. ROBBINS;WENDELL E. RHINE;JULIA SIGALOVSKY;DENNIS D. RATHMAN;R. ALLEN MURPHY;ANNAMARIE LIGHTFOOT;
申请日1995-05-25
分类号H01L21/60;
国家 US
入库时间 2022-08-22 02:38:47