公开/公告号EP0923115A1
专利类型
公开/公告日1999-06-16
原文格式PDF
申请/专利号EP19980309466
发明设计人 ARMACOST MICHAEL D.;DOBUZINSKY DAVID M.;CONLEY WILLARD E.;DELLAGUARDIA RONALD A.;COTLER-WAGNER TINA J.;PASSOW MICHAEL L.;WILLE WILLIAM C.;
申请日1998-11-19
分类号H01L21/311;G03F7/039;H01L21/3213;H01L21/768;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 02:18:40