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TIP HAVING DUPLICATE STRUCTURE OF METAL AND DIAMOND PHASE CARBON WITH TRANSITION METAL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

机译:具有过渡金属的金属和金刚石相碳的双重结构的尖端及其制造方法

摘要

The proton metal-containing diamond phase carbon is used to effectively suppress the wear and destruction of the tip caused by the sputtering of the silicon tip due to the residual gas in the vacuum or the gas deviating from the bright body, and the oxidation. By providing a tip having a dual structure of and metal, the swamp exhibits electron emission characteristics even under low voltage.
机译:含质子金属的金刚石相碳用于有效地抑制由于真空中的残留气体或偏离光亮体的气体以及氧化引起的由硅尖端的溅射引起的尖端的磨损和破坏。通过提供具有金属和金属的双重结构的尖端,该沼泽即使在低压下也显示出电子发射特性。

著录项

  • 公开/公告号KR100215220B1

    专利类型

  • 公开/公告日1999-08-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 INSTITUTE FOR ADVANCED ENGINEERING;

    申请/专利号KR19940040631

  • 发明设计人 최정옥;김한;정효수;

    申请日1994-12-31

  • 分类号H01J1/30;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 02:15:37

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