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Capacitative sensor for pressure determination by deformation of a membrane causing a change in capacitance

机译:用于通过膜变形引起电容变化来确定压力的电容式传感器

摘要

Capacitative sensor comprising two electrodes (3,4) with at least one of the sensors (3) having an arrangement of electrode strips (8) or matrix of electrode elements. Such an arrangement allows a spatial variation of the capacitance.
机译:电容式传感器包括两个电极(3,4),其中至少一个传感器(3)具有电极条(8)或电极元件矩阵的布置。这样的布置允许电容的空间变化。

著录项

  • 公开/公告号DE19847563A1

    专利类型

  • 公开/公告日1999-10-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MICRONAS INTERMETALL GMBH;

    申请/专利号DE19981047563

  • 发明设计人 IGEL GUENTER;SIEBEN ULRICH;GIEHL JUERGEN;

    申请日1998-10-15

  • 分类号G01D5/24;G01L9/12;H01L49/00;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 02:12:40

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