Semiconductor device fabrication system and method of forming semiconductor device pattern using the same, and photoresist for manufacturing semiconductor dev

机译： 半导体器件制造系统和使用制造半导体器件的相同和光致抗蚀剂形成半导体器件图案的方法

机译： 半导体装置的制造设备，使用该装置的半导体装置的图案形成方法以及使用该装置的半导体装置的制造用光刻胶

机译： 在不使用光致抗蚀剂图案的情况下具有通过离子注入来控制半导体层形成位置的功率半导体器件及其制造方法