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PATTERNING METHOD PATTERNING APPARATUS PATTERNING TEMPLATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE PATTERNING TEMPLATE

机译:加样方法加样设备加样模板和制造加样模板的方法

摘要

Plate (1) is proximate to or in contact with the pattern-formed surface 111 and allows the fluid (62) formed on the pattern forming face. This method comprises proximity to the plate (1) on the pattern forming face (111) or substantially in contact with; Supplying a fluid 62, a plurality of through holes 12 provided in the pattern transfer region 10 of the plate (1) for the supply of the fluid (62) and; After the fluid 62 passes through the through hole 12 it is attached to the pattern-forming surface 111, and a separating plate (1) from the pattern forming face (111).
机译:板(1)靠近或形成于图案形成表面111,并允许流体(62)形成在图案形成面上。该方法包括在图案形成面(111)上接近板(1)或基本与板(1)接触;供应流体62,在板(1)的图案转印区域10中设置有多个通孔12,用于供应流体(62);以及在流体62通过通孔12之后,其被附接到图案形成表面111以及从图案形成面(111)分离的隔板(1)。

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