公开/公告号JP2001264176A
专利类型
公开/公告日2001-09-26
原文格式PDF
申请/专利权人 JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORP;
申请/专利号JP20000288612
发明设计人 KIMURA MITSUTERU;
申请日2000-09-22
分类号G01J5/22;G01J1/42;G01J1/44;G01J5/48;G01K7/01;H01L27/14;H01L27/146;H01L35/00;H04N5/33;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 01:31:30