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Sic wafer, sic semiconductor device and sic wafer production method

机译:Sic晶圆,Sic半导体器件和Sic晶圆的制造方法

摘要

An SiC substrate (2) having a plane orientation of almost (11-20) and being of a 4H type polytype or 15R type polytype, and a buffer layer (4) formed on the SiC substrate (2) and made of SiC are provided.
机译:提供具有4H型多型或15R型多型的面取向大致(11-20)的SiC衬底(2)以及形成在SiC衬底(2)上并由SiC制成的缓冲层(4)。 。

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