公开/公告号AU6097501A
专利类型
公开/公告日2001-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 ZYGO CORPORATION;
申请/专利号AU20010060975
发明设计人 PETER DE GROOT;JAMES W. KRAMER;DAVID GRIGG;JAMES BIEGEN;XAVIER COLONNA DE LEGA;LESLIE L. DECK;
申请日2001-01-25
分类号G01B11/02;G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245;G01J9/02;
国家 AU
入库时间 2022-08-22 01:20:10