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Brief description of embodiments of a device comprising a stack of quantum boxes on a silicon substrate or monocrystalline germanium

机译:包括在硅衬底或单晶锗上的量子盒堆的设备的实施例的简要描述

摘要

The invention concerns a method for forming on a Ge or Si monocrystalline substrate successive Si/Ge, Si/SiGe or Si/SiGe/Ge layers for a Ge substrate and inversely for a Si substrate, and the electrochemical treatment of the stack of layers to make the layers porous and form therein residual crystallites. The invention is applicable to devices comprising layers of planes of quantum drops.
机译:本发明涉及一种在Ge或Si单晶衬底上形成用于Ge衬底和相反用于Si衬底的连续Si / Ge,Si / SiGe或Si / SiGe / Ge层的方法,以及对层堆叠进行电化学处理的方法。使层多孔并在其中形成残留的微晶。本发明适用于包括量子滴平面层的设备。

著录项

  • 公开/公告号FR2797093B1

    专利类型

  • 公开/公告日2001-11-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FRANCE TELECOM;

    申请/专利号FR19990009646

  • 申请日1999-07-26

  • 分类号H01L21/20;H01L21/322;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-22 01:07:52

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