公开/公告号US2002094681A1
专利类型
公开/公告日2002-07-18
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申请/专利权人 ARMBRUST DOUGLAS S.;BAKER JOHN M.;BALLANTINE ARNE W.;CHEEK ROGER W.;DIMILIA DOREEN D.;REATH MARK L.;RICE MICHAEL B.;
申请/专利号US20010681126
发明设计人 MICHAEL B. RICE;ARNE W. BALLANTINE;DOREEN D. DIMILIA;DOUGLAS S. ARMBRUST;JOHN M. BAKER;MARK L. REATH;ROGER W. CHEEK;
申请日2001-01-16
分类号H01L21/66;H01L21/44;H01L21/31;H01L21/469;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:51:48