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Process for artificial optical anisotropy creation in optical isotropic semicondustors crystals

机译:光学各向同性半导体晶体中人工光学各向异性的产生方法

摘要

The invention refers to the technology of semiconducting materials and structures and may be used in the field of manufacture of non-linear optical elements. The process includes creation of a textured region, implantation of high-energy ions at an angle of 30...90 degree onto the optical isotropic semiconductor crystal and subsequent electrochemical dissolution of the implanted region.Claims: 1Fig.: 4
机译:本发明涉及半导体材料和结构的技术,并且可以用于非线性光学元件的制造领域。该过程包括创建纹理区域,以30 ... 90度的角度将高能离子注入到各向同性的半导体晶体上,以及随后对该注入区域进行电化学溶解。索赔:1图:4

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