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Microelectronic fabrication having microelectronic capacitor structure fabricated therein

机译:具有在其中制造的微电子电容器结构的微电子制造

摘要

Within a method for fabricating a microelectronic fabrication, and the microelectronic fabrication fabricated employing the method, there is formed within the microelectronic fabrication a capacitor structure upon a conductor stud layer formed into a first via defined by a patterned dielectric layer to reach a one of a pair of patterned conductor layers within the microelectronic fabrication prior to forming through the patterned dielectric layer a second via to reach the other of the pair of patterned conductor layers within the microelectronic fabrication. The method provides the resulting microelectronic fabrication with enhanced reliability and performance.
机译:在用于制造微电子制造的方法中,以及使用该方法制造的微电子制造中,在微电子制造内,在导体柱层上形成电容器结构,该导体柱层形成为由图案化介电层限定的第一通孔中的一个,以达到在通过图案化的介电层形成第二通孔以到达微电子制造内的一对图案化导体层中的另一个之前,先在微电子制造内形成一对图案化导体层。该方法为所得的微电子制造提供了增强的可靠性和性能。

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