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Production of ternary shape-memory alloy films by sputtering using a hot pressed target

机译:使用热压靶通过溅射生产三元形状记忆合金膜

摘要

A method for producing thin film deposits of ternary shape-memory alloys using an ion sputtering deposition process comprising using a hot pressed metal powder composition target.
机译:一种使用离子溅射沉积工艺生产三元形状记忆合金薄膜沉积物的方法,该方法包括使用热压金属粉末组合物靶。

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